La serie Archer di robot per vuoto SIASUN trasferisce wafer o substrati tra le camere di processo in impianti a cluster. Progettata per ambienti sottovuoto, garantisce movimenti ripetibili e un elevato tempo di funzionamento.

Si integra con moduli di automazione front-end e strumenti per cluster sottovuoto per ridurre la generazione di particelle e garantire una produzione pulita.

La serie Archer è destinata ad applicazioni nel settore dei semiconduttori e della lavorazione industriale sotto vuoto.

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