- Funzionamento del VTM
- Camera di trasferimento
- Wafer di silicio
- Camere di processo
- Pulizia
- Precisione di posizionamento
Descrizione
Il SIASUN PHOENIX Series Vacuum Manipulator opera all'interno di un modulo di trasferimento sotto vuoto (VTM) o camera di trasferimento di un cluster tool. Movimenta i substrati (comunemente wafer di silicio) tra le camere di carico e più camere di processo.
Mantiene rigorosi requisiti di pulizia, precisione di posizionamento e disponibilità operativa come parte dell'ecosistema di automazione front-end.
La Phoenix Series è destinata ad applicazioni nei settori semiconduttori, logistico, ricerca e ispezione.
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Caratteristiche
Specifiche
| Modello | Manipolatore a vuoto serie PHOENIX |
|---|---|
| Tipo di robot | Manipolatore a vuoto |
| Destinazione d'uso | Strumento VTM cluster |
| Marca | SIASUN |
Settori industriali
Domande frequenti
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Il manipolatore sottovuoto SIASUN PHOENIX è utilizzato nei moduli di trasferimento sottovuoto e negli strumenti cluster. Gestione dei wafer di silicio con requisiti rigorosi in termini di pulizia e precisione di posizionamento.
Manipolatore a vuoto SIASUN serie Phoenix è particolarmente adatto ad applicazioni nei settori Industriale.
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Manipolatore a vuoto SIASUN serie Phoenix
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Disponibile
Braccio robotico
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