- Vacuum wafer transfer
- Load locks
- Process modules
- Repeatability
- Throughput
- Contamination control
Beschreibung
Die SIASUN Vacuum Robot Phoenix B Series transferiert Wafer zwischen Load-Locks, Transferkammern und Prozessmodulen (Abscheidung, Ätzen, Messtechnik), ohne kontrollierte Umgebungen zu unterbrechen.
Verbessert Wiederholgenauigkeit, Durchsatz und Kontaminationskontrolle in der Halbleiter- und Reinraumfertigung.
Die Phoenix B Series eignet sich für Vakuumhandling-Anwendungen in Halbleiterindustrie, Bildung und Industrie.
Kontaktieren Sie uns für Preise und Verfügbarkeit.
Funktionen
Technische Daten
Branchen
SIASUN Vacuum Robot Phoenix B Series
- Regulärer Preis
- Preis auf Anfrage
Auf Lager
Humanoid Robots
Zuletzt angesehen
Sie haben noch keine Produkte angesehen.
